10月27日,第二屆中國·如皋第三代半導(dǎo)體及智能制造國際研討會在江蘇如皋舉行。此次研討會,以“廣納高端人才智力,助推實體經(jīng)濟發(fā)展”為主題,圍繞第三代半導(dǎo)體及智能制造方面開展了學(xué)術(shù)研討和技術(shù)交流,吸引俄羅斯、烏克蘭、德國等多國的知名學(xué)者參加。來自中國工程院、復(fù)旦大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)等數(shù)十家重點高校、科研院所的行業(yè)領(lǐng)軍人物,與上百家半導(dǎo)體企業(yè)人士濟濟一堂深入交流。會上,中烏第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院宣布成立并落戶如皋。 　　成果斐然:雙良新能源與卓遠半導(dǎo)體簽訂協(xié)議

在江蘇卓遠半導(dǎo)體設(shè)備及碳化硅晶體材料生產(chǎn)項目現(xiàn)場,雙良節(jié)能系統(tǒng)股份有限公司(以下簡稱“雙良節(jié)能”)的子公司江蘇雙良新能源裝備有限公司(以下簡稱“雙良新能源”)與江蘇卓遠半導(dǎo)體有限公司(以下簡稱“卓遠半導(dǎo)體”)就“集成電路級大尺寸高性能單晶硅的生長智能裝備技術(shù)的開發(fā)合作”、“第三代半導(dǎo)體碳化硅晶體批量生產(chǎn)項目的量產(chǎn)化技術(shù)合作”簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議。

強強聯(lián)合實現(xiàn)高端制造轉(zhuǎn)型

此次雙良新能源與卓遠半導(dǎo)體強強聯(lián)合,旨在以國家大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、地方產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新升級為契機,通過戰(zhàn)略合作實現(xiàn)雙方優(yōu)勢互補,填補國內(nèi)大尺寸單晶硅生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域空白,并推動第三代半導(dǎo)體碳化硅(SiC)晶體量產(chǎn)化,實現(xiàn)國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在高端裝備制造領(lǐng)域自主化取得新突破。

作為落戶如皋市高新區(qū)的重點產(chǎn)業(yè)項目,由江蘇省“雙創(chuàng)”人才、留德博士張新峰領(lǐng)銜的卓遠半導(dǎo)體,充分發(fā)揮團隊在設(shè)備和熱場設(shè)計、軟件開發(fā)、工藝研發(fā)等方面的高層次技術(shù)優(yōu)勢,目前正著力發(fā)展“第三代半導(dǎo)體”碳化硅(SiC)晶體的裝備制造和晶圓生產(chǎn)業(yè)務(wù)。團隊擁有多學(xué)科核心研發(fā)人員 22 名,其中博士及以上學(xué)歷 7 名,在半導(dǎo)體晶體領(lǐng)域擁有豐富的學(xué)術(shù)理論和實操經(jīng)驗,并借助德中工業(yè)創(chuàng)新發(fā)展中心和海內(nèi)外高等院所,開展人才引進與人才培養(yǎng),進一步加強團隊建設(shè)。

此次合作,卓遠半導(dǎo)體能夠依托雙良的質(zhì)量體系管控實力、多晶硅裝備制造核心技術(shù)和自動化控制系統(tǒng)開發(fā)能力、相關(guān)產(chǎn)業(yè)設(shè)施配套資源,以及雙良節(jié)能旗下的雙良低碳產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院的團隊支持,在單晶爐設(shè)備研發(fā)方面獲得最優(yōu)最快的機械加工制造條件和行業(yè)生產(chǎn)經(jīng)驗。雙良將借助卓遠半導(dǎo)體在晶體材料及全自動智能設(shè)備制造方面的專業(yè)經(jīng)驗和優(yōu)勢資源,快速進入半導(dǎo)體單晶爐及第三代半導(dǎo)體碳化硅高端裝備制造領(lǐng)域,進一步實現(xiàn)由傳統(tǒng)制造向高科技智能制造的轉(zhuǎn)型升級。

掌握核心技術(shù)加速高端設(shè)備國產(chǎn)化

雙良低碳產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院章國明博士介紹,單晶硅是一種半導(dǎo)電性顯著的材料,以高純度(99.9999999%至99.9999999999%)的多晶硅為原料,通過單晶爐拉制而成。這種良好的半導(dǎo)體材料被廣泛用于制造超大規(guī)模集成電路、半導(dǎo)體芯片、記憶體芯片和中低頻、中低功率器件等,是現(xiàn)代信息社會不可或缺的基礎(chǔ)物質(zhì)。由于單晶硅在諸多領(lǐng)域有著不可替代的地位,歐美日等國紛紛將其提升至國家戰(zhàn)略層面,爭搶技術(shù)制高點。

伴隨半導(dǎo)體信息產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,單晶硅材料與單晶爐的市場需求都十分旺盛。據(jù)Yole Development(法國知名市場調(diào)研和戰(zhàn)略咨詢公司)預(yù)計,未來五年,IC硅(電子級硅)市場將持續(xù)供不應(yīng)求,豐厚的市場回報將進一步支撐技術(shù)開發(fā),持續(xù)拉大技術(shù)差距。

我國目前已較為全面地布局了IC 硅全產(chǎn)業(yè)鏈,并在磊晶階段日趨成熟,但在晶圓和設(shè)備制造環(huán)節(jié)仍在努力實現(xiàn)突破。

目前,世界市場上90%的電子級大尺寸單晶片供應(yīng)都由世界前五家頭部企業(yè)壟斷。國內(nèi)用于制造大規(guī)模集成電路的 8-12 英寸單晶硅,絕大部分來自進口。而用于制造極大規(guī)模集成電路的大直徑(12英寸以上)高性能單晶硅,其生長工藝、設(shè)備技術(shù)等更被國外企業(yè)壟斷。

中國企業(yè)要想不被“卡脖子”,瞄準世界水平實現(xiàn)技術(shù)追趕、并憑借市場彎道超車,單晶硅及其生產(chǎn)裝備完全自主化是必由之路。在國家政策與市場機遇的驅(qū)動下,雙良攜手卓遠半導(dǎo)體,開啟“大直徑高性能單晶硅生長設(shè)備研發(fā)”,具有重要而深遠的意義。

早在進入多晶硅行業(yè)之初,雙良新能源就始終堅持多晶硅還原核心系統(tǒng)的研發(fā),勇于打破國內(nèi)多晶硅技術(shù)和市場長期被國外公司壟斷的局面,掌握核心技術(shù)領(lǐng)域的主動權(quán)。通過攻克生產(chǎn)運行工況、材料、結(jié)構(gòu)、制作和表面處理等一系列難題,集成底盤、鐘罩、供電系統(tǒng)、絕緣系統(tǒng)、供料系統(tǒng)和冷卻系統(tǒng)等,打造出了擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的高質(zhì)量國產(chǎn)設(shè)備。憑借在多晶硅還原爐領(lǐng)域的厚積薄發(fā),雙良新能源已形成一套完善的還原技術(shù)研發(fā)體系,研制的還原爐電耗低、純度高、產(chǎn)量大,綜合技術(shù)水平業(yè)內(nèi)領(lǐng)先。

做半導(dǎo)體行業(yè)的系統(tǒng)設(shè)備集成服務(wù)商

目前,雙良還原爐系列已擁有18對棒、24對棒、36對棒、40對棒、48對棒、72對棒的規(guī)格。按照電子級多晶硅要求設(shè)計制造的24對棒還原爐也已取得了成功應(yīng)用,在性價比方面相較進口設(shè)備更具競爭優(yōu)勢。

矢志創(chuàng)新、銳意進取的雙良新能源,是中國多晶硅行業(yè)發(fā)展的推動者和見證者。

雙良新能源始終踐行“一切以客戶為中心”的理念,以嚴謹?shù)募夹g(shù)作風和誠信務(wù)實的服務(wù),與國內(nèi)二十多家多晶硅企業(yè)保持戰(zhàn)略合作關(guān)系,誓做多晶硅行業(yè)的專業(yè)系統(tǒng)設(shè)備集成服務(wù)商。在全球產(chǎn)能逾萬噸級的18家企業(yè)中,有10家來自中國,雙良設(shè)備為這10家多晶硅行業(yè)骨干企業(yè)提供持續(xù)、穩(wěn)定、健康的服務(wù)。迄今為止,雙良新能源已累計為全國多晶硅企業(yè)提供了五千多套生產(chǎn)設(shè)備,其中除還原系統(tǒng)外還包括精餾塔、雙管板換熱器和大型吸附設(shè)備等。

1982年創(chuàng)立的雙良,矢志不渝興民族工業(yè),創(chuàng)民族品牌。在傳統(tǒng)制造業(yè)面臨新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革的當下,雙良牢記初心使命,向著高端產(chǎn)品智能制造、服務(wù)型制造的高質(zhì)量發(fā)展目標,接續(xù)奮斗前行。站在新的高技術(shù)領(lǐng)域,雙良將與卓遠半導(dǎo)體攜手共進,為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入新活力,做出新貢獻。